19 июля 2018 сделать стартовой добавить в избранное обратная связь карта сайта  
   
toshiba, импринт, литографию, техпроцесса
новости новости книги книги каталог сайтов каталог сайтов мобильные телефоны мобильные телефоны мобильные развлечения мобильные развлечения
Концепт смарт-часов Samsung на основе недавнего патента Концепт смарт-часов Samsung на основе недавнего патента »»» PrivaZer 1.12: защита данных от восстановления PrivaZer 1.12: защита данных от восстановления »»» Hard Drive Inspector 4.15: наблюдение за жесткими дисками Hard Drive Inspector 4.15: наблюдение за жесткими дисками »»»
 компьютерные новости 
» Железо
» Софт и игры
» Интернет
» Безопасность
» Наука и техника
» Бизнес
» Связь
Последние новости »
Популярные новости »
Добавить новость »
 архив
 «  октябрь 2007  » 
пн вт ср чт пт сб вс
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
293031

полезные ссылки

мобильный хит

Froggy Lake
Игра Froggy Lake для мобильных телефонов 

Надоели всевозможные пятнашки, "линий" и прочие логические забавы. Игра Froggy Lake - это новая головоломка с увлекательным сюжетом и оригинальным геймплеем...

новость

Toshiba за импринт-литографию для 22-нм техпроцесса

18 октября 2007  [19:09]  Железо
 

Американский производитель литографического оборудования Molecular Imprints Inc. (MII) объявила на днях, что японская корпорация Toshiba Semiconductor одобрила использование импринт-литографии ("печатной" литографии) для производства КМОП-микросхем согласно нормам 22-нм технологического процесса.

Molecular Imprints Inc.

Используя литографический инструмент MII Imprio 250, специалисты из японской компании сумели нанести на кремниевую подложку 18-нм изолированные элементы и рисунок с плотно расположенными 24-нм элементами. Критический допуск на размер элементов (critical dimension uniformity, CDU) составлял менее 1 нм, размытие края рисунка (line edge roughness, LER) не превышало 2 нм. Предъявленные образцы демонстрировали уровень дефективности (defectivity level) равный 0,3 повреждения на см2, что приближается к таковому для иммерсионной литографии. Степень перекрытия элементов (device overlay) также находилась в пределах, допускаемых техническими стандартами.

Согласно утверждению генерального директора MII Марка Меллиар-Смит (Mark Melliar-Smith), продемонстрированные образцы с 18- и 24-нанометровыми элементами свидетельствуют не об ограничениях метода, а только о качестве шаблонов, к которым на данный момент имеют доступ инженеры Toshiba. В лабораторных условиях импринт-сканеры оказывались способными создавать элементы толщиной до 5 нм, т.е. уже практически за гранью применимости самой концепции КМОП. Образно говоря, импринт-литография является "последним методом", вершащим целую эпоху производства больших интегральных схем.

Здесь необходимо отметить, что, несмотря на пафосные заявления, большинство производителей полупроводниковых микросхем не рассматривают импринт-литографию в качестве основного метода производства чипов с элементами менее 32 нм. Технологически, главным фаворитом гонки "22 нанометра и менее" является литография с использованием жесткого ультрафиолетового излучения (EUV, вакуумная литография). Однако ввиду постоянных отсрочек появления коммерческих аппаратов для EUV-литографии, производители, возможно, предпочтут использование современных 193-нм иммерсионных сканеров с применением комплексных методов получения изображения, например двойного экспонирования, для 32-нм технологического процесса. Дальнейшее направление литографического развития остается пока неопределенным.

 
Комментарии для новости Источник: 3dnews.ru


Новости по теме:
 
»  Обновленные Toshiba Satellite X200 скоро в России 12 октября 2007
 
»  Расширение линейки компактных сенсоров Dynastron от Toshiba 11 октября 2007
 
»  Toshiba готовится к серийному выпуску флэш-памяти по нормам 30 нм 8 октября 2007
 
»  Toshiba становится мобильной. Компания выводит на украинский рынок свои коммуникаторы и смартфоны 5 октября 2007
 
»  Toshiba продемонстрировала чип SpursEngine 4 октября 2007
 
»  Первые цифровые HD-камкордеры Toshiba 2 октября 2007
 
»  Разработчики ЖК-ТВ увеличивают объемы производства 27 сентября 2007
 
»  Новинки от Toshiba: ноутбуки P205D на базе процессоров AMD 27 сентября 2007
 
»  Toshiba + SLI - бронебойный ответ на высокие системные требования 27 сентября 2007
 
»  SpursEngine: половинка Cell от Toshiba 23 сентября 2007
 


Добавить комментарий для новости:
Ваше имя:
Комментарий: *
Введите код:

 
 реклама
 
Закажи рекламу на Rambler.ru, Mail.ru, Aport.ru!
От 130 руб. за все!


Покупаем рекламу. Дорого.
При использовании материалов сайта ссылка на CompNews.ru обязательна.
новости   книги   сайты   телефоны
Реклама на сайте
2004-2010 © CompNews.ru - компьютерные новости